原为佛教语。谓用佛性对照检查。后亦指自我反省。《禅真逸史》第十七回：“澹然凝神静养一会，早听四野鸡鸣，于是垂目低眉，返视内照。”亦作“返观内照”、“返观内视”。清 戴震《孟子字义疏证·理十五》：“程子、朱子其出入于老释，皆以求道也。使其见道为是，虽人以非而不顾。其初，非背‘六经’孔孟而信彼也。于此不得其解，而见彼之捐弃物欲，返观内照，近于切己体察。”清 蒲松龄《〈王如水问心集〉序》：“即此宜得之公心，返观内视，而九幽十八狱，人人分明见之矣。”梁启超《新民说·论私德》：“吾辈试于清夜平旦返观内照，其能免于王子之所诃与否?”